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      硅碳棒直徑是反應沉積效果的重要參數

        改進后的熱處理生產線運行狀況良好.生產的汽車前軸扭曲變形也得到了有效控制,性能比以前有了很大提高,硅碳棒質量穩定。大大減少了廢品,節約了成本,穩定了硅碳棒市場,取得了顯著的經濟效益和社會效益。
        還原爐是多晶硅生產的核心設備,在還原爐的運行控制中,硅碳棒直徑是反應沉積效果的重要參數。筆者設計了一種硅碳棒直徑檢測方法,通過試用獲得還原爐運行中硅碳棒直徑檢測數據,并綜合各控制參數進行多晶硅碳棒生長過程的研究,其結論能夠為還原爐運行優化提供參考依據。
        還原爐是多晶硅生產的核心設備,還原爐的運行控制決定了多晶硅生產的電耗、原輔料消耗等,對成本起著至關重要作用。在還原爐的運行控制方面,目前大多數是根據硅碳棒沉積生長的不同階段,給定相匹配的反應原料三氯氫硅和氫氣的流量及配比,并通過調節硅碳棒加熱功率達到適宜的硅碳棒表面溫度,使多晶硅逐漸沉積生長。由于對硅碳棒直徑檢測方面缺少有效的手段,所以在生產階段判斷上,多采用以沉積時間或人工肉眼觀察的方法作參考,難以達到精確的控制效果。
        筆者設計了一種硅碳棒直徑檢測方法,并加以試用,獲得了還原爐運行中硅碳棒直徑這一重要參數,并通過計算得出不同生長階段的沉積速度、瞬時電耗和瞬時轉化率等,進而綜合各運行參數對生長過程進行全面的研究,為還原爐運行優化提供參考依據。www.evenaim.com

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